گروه مهندسی برق
پژوهشكده میكروالكترونیك
طراحی و شبیه سازی یک سلف حلزونی قابل تنظیم جدید با تکنولوژی MEMS
برای رعایت حریم خصوصی اسامی استاد راهنما،استاد مشاور و نگارنده درج نمی شود
تکه هایی از متن به عنوان نمونه :
چكیده:
در این پایان نامه طراحی، شبیه سازی و پروسه ساخت یک سلف حلزونی قابل تنظیم با بهره گرفتن از تكنولوژی MEMS مورد بررسی قرار گرفته است. این سلف حلزونی قابل تنظیم،
به منظور استفاده در مدارات RF مانند: نوسان سازهای كنترل شده با ولتاژ (VCO)، شبكه های تطبیق، تقویت كننده ها و… طراحی شده است. در این طراحی به منظور قابل تنظیم كردن مقدار اندوكتانس سلف، از روش الكترو استاتیک و از حركت یک بازوی پیش آمده بالای سلف و تغییر مقدار شار مغناطیسی عبوری از آن استفاده شده است. مقدار اندوكتانس این سلف از 1/581nH به 0/681nH تغییر میكند . به این ترتیب قابلیت تنظیم مقدار اندوكتانس سلف درحدود 40/93 درصد بدست می آید. مقدار ماكزیمم ضریب كیفیت سلف مورد نظر در فركانس 12/5GHz حدود 12/33 و مقدار فركانس رزونانس آن حدود 19/5GHz با شبیه سازی بدست آمد. شبیه سازی ها در این طراحی با بهره گرفتن از نرم افزارهای INTELLISUITE7/2, HFSS11, MATLAB7 انجام شد.
فصل اول: مقدمه
1-1- مقدمه ای بر MEMS، كاربردها و مزایای آن
MEMS یا میكرو الكترو مكانیكال سیستم در سال 1970 در ایالات متحده بنیانگذاری شده است، به طوری كه در همان زمان و در اروپا این تكنولوژی را به نام MST یا تكنولوژی میكروسیستم میشناختند.
این مطلب را هم بخوانید :
MEMS یک سیستم با ابعاد میكرو میباشد كه بصورت دسته ای (مجتمع) ساخته میشوند و از میكروساختارها، میكروسنسورها، میكروالكترونیک ها و میكرو راه اندازها تشكیل شده است (شکل 1-1).
اخیراً تكنولوژی MEMS پیشرفت قابل توجهی را در ساخت و تست وسایل جدید كسب كرده است و تكنولوژی های نو و كاربردهای جدیدی به واسطه آن بوجود آمده است.
ویژگی هایی مانند وزن كم، اندازه كوچك، مصرف انرژی پایین و پایداری و مقاومت وسایل ساخته شده با این تكنولوژی روز به روز بر جذابیت و رشد این صنعت می افزاید. وسایل MEMS ی بیشماری وجود دارد